[发明专利]背照式图像传感器的制造方法

摘要

本发明提供一种背照式图像传感器的制造方法，提供第一衬底与第二衬底，在第一衬底的正面形成背照式图像传感器结构，背照式图像传感器结构包括感光二级管、与感光二级管电性连接的多层金属互连线和覆盖有金属互连线和感光二级管的层间介质层，之后将第二衬底的正面与层间介质层键合；在第一衬底的背面键合偏光玻璃晶圆；在第二衬底的背面形成用于与金属互连线电性连接的焊垫。本发明将偏光玻璃晶圆与感光面键合，提升呈像效果形成微透镜保护；可实现高密度IO管脚在传感器背面引出；可减少整体封装厚度；可减少制造周期。