[发明专利]一种微动台及运动装置有效
| 申请号： | 202210082962.0 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114123852B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 郝凌凌;王振华 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;H02N2/04;B25J9/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吴萌 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微动台及运动装置，涉及精密运动技术领域。微动台包括中间座、固定基座、承载台、水平驱动装置、垂向驱动装置和重力补偿装置，中间座底部具有容纳槽；固定基座位于容纳槽中，容纳槽的槽底和/或固定基座上开设有避让孔；承载台安装于中间座的上方；水平驱动装置为压电驱动装置并设置于避让孔中；垂向驱动装置为压电驱动装置，位于容纳槽的周向外侧且下端伸入并安装于中间座的内部；重力补偿装置的下端伸入中间座中并位于容纳槽的周向外侧，重力补偿装置的上端伸出中间座的上端面并与承载台连接。本发明通过重力补偿装置有效解决载重问题，且扁平化设计，降低了整体装置的高度，使结构更为紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微动 运动 装置 | ||
【主权项】：
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