[发明专利]一种微动台及运动装置

权利要求书

1.一种微动台，其特征在于，包括：

中间座（2），其底部具有开口朝下的容纳槽（21）；

固定基座（3），位于所述容纳槽（21）中，所述容纳槽（21）的槽底和/或所述固定基座（3）上开设有避让孔（22）；所述容纳槽（21）的槽底开设有所述避让孔（22），且所述避让孔（22）贯通所述中间座（2）的上端面；

承载台（4），安装于所述中间座（2）的上方；

水平驱动装置（6），设置于所述避让孔（22）中，所述水平驱动装置（6）为水平压电驱动装置，用于驱动所述中间座（2）相对所述固定基座（3）沿X方向运动，所述X方向水平设置；

垂向驱动装置（5），位于所述容纳槽（21）的周向外侧且下端伸入并安装于所述中间座（2）的内部，所述垂向驱动装置（5）为垂向压电驱动装置，用于驱动所述承载台（4）相对所述中间座（2）沿Z方向运动，所述Z方向竖直设置；

重力补偿装置（1），其下端伸入所述中间座（2）中并位于所述容纳槽（21）的周向外侧，所述重力补偿装置（1）的上端伸出所述中间座（2）的上端面并与所述承载台（4）连接，所述重力补偿装置（1）用于补偿所述垂向驱动装置（5）承载的负载力。

2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述垂向驱动装置（5）环绕所述容纳槽（21）间隔设置有若干个；

和/或，所述水平驱动装置（6）沿Y方向间隔设置有若干个，所述Y方向与所述X方向及所述Z方向均相互垂直。

3.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述中间座（2）的上端面开设有安装孔（23），所述安装孔（23）与所述垂向驱动装置（5）一一对应，所述垂向驱动装置（5）的下端伸入安装孔（23）中，所述安装孔（23）位于所述容纳槽（21）的周向外侧，且所述安装孔（23）的下端面低于所述固定基座（3）的上端面。

4.根据权利要求3所述的微动台，其特征在于，所述安装孔（23）为腰型孔，所述垂向驱动装置（5）在所述安装孔（23）内的位置能够沿所述腰型孔的长度方向水平调节。

5.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述避让孔（22）沿所述Z方向的高度小于所述水平驱动装置（6）沿所述Z方向的高度。

6.根据权利要求1-5任一项所述的微动台，其特征在于，所述容纳槽（21）的槽底与所述固定基座（3）上端面的距离小于10mm，且所述水平驱动装置（6）的驱动端作用于所述避让孔（22）的孔壁；

和/或，所述中间座（2）的下端面高于所述固定基座（3）的下端面，且所述中间座（2）的下端面与所述固定基座（3）的下端面之间的高度差小于5mm。

7.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述中间座（2）沿所述Z方向贯通开设有固定孔（24），所述重力补偿装置（1）的下端伸入所述固定孔（24）中并与所述固定孔（24）的孔壁或与所述中间座（2）的上端面连接。

8.根据权利要求7所述的微动台，其特征在于，所述重力补偿装置（1）包括：

固定座，伸入所述固定孔（24）内并与所述中间座（2）连接；

移动座，与所述固定座滑动连接；

弹性伸缩件，且下端连接于所述移动座，且上端伸出所述移动座的上端并与所述承载台（4）抵接；

调节驱动装置，设置在所述固定孔（24）内并用于驱动所述移动座相对所述固定座沿所述Z方向移动。

9.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述容纳槽（21）沿Y方向的相对两侧均设置有一组所述垂向驱动装置（5）和一组所述重力补偿装置（1），每组所述垂向驱动装置（5）包括沿所述X方向间隔设置的两个所述垂向驱动装置（5），每组所述重力补偿装置（1）包括沿所述X方向间隔设置的三个所述重力补偿装置（1），每个所述垂向驱动装置（5）均位于相邻两个所述重力补偿装置（1）之间，所述Y方向与所述X方向及所述Z方向均相互垂直。