[发明专利]一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构和显微镜在审
| 申请号： | 202210080319.4 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114545030A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 郭颖;张徐开;王佳丽;赵兴强 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01Q10/04 | 分类号： | G01Q10/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构，包括压电扫描管和镜体框架，所述压电扫描管设置在镜体框架内，所述压电扫描管上部分为自由端且通过固定环安装于镜体框架，下部分为自由端且其内壁上通过绝缘环连接滑杆，绝缘环的内环壁安装有弹簧片，弹簧片弹性抵接滑杆；本发明还提出了一种应用上述结构的基于Qplus技术的单扫描管的原子力显微镜，探针安装在石英音叉上，石英音叉、压电陶瓷、激励振荡器依次设置。本发明结构可靠性高，仅需要一根完整的四象限压电扫描管就可以完成步进和扫描，只在马达步进方向依赖惯性，而扫描方向可以连续进行，压电管不需要经过切割，保持了原有的完整性和刚性，所以能够更稳健，更精确地步进和扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极简式单 扫描 探针 显微镜 结构 | ||
【主权项】：
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