[发明专利]一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构和显微镜在审
| 申请号： | 202210080319.4 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114545030A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 郭颖;张徐开;王佳丽;赵兴强 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01Q10/04 | 分类号： | G01Q10/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 极简式单 扫描 探针 显微镜 结构 | ||
1.一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构，包括压电扫描管(1)和镜体框架(6)，所述压电扫描管(1)设置在镜体框架(6)内，其特征在于，所述压电扫描管(1)上部分为固定端，下部分为自由端，所述镜体框架(6)的内壁的上部固定安装有固定环(2)，所述固定端固定安装在固定环(2)上，所述自由端的内壁上固定安装有绝缘环(5)，所述绝缘环(5)的环内设置有滑杆(4)，所述绝缘环(5)的内环壁安装有弹簧片(3)，所述弹簧片(3)弹性抵接滑杆(4)。
2.根据权利要求1所述的一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构，其特征在于：所述滑杆(4)的自由端的端部的中心位置处固定安装有探针(7)。
3.根据权利要求2所述的一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构，其特征在于：所述探针(7)下端设置有样品台(8)，用于放置样品(9)。
4.根据权利要求1所述的一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构，其特征在于：所述滑杆(4)的自由端的端部的中心位置处用于固定设置样品(9)。
5.根据权利要求4所述的一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构，其特征在于：所述样品(9)远离滑杆(4)的一侧设置有探针台(10)，所述探针台(10)上设置有探针(7)。
6.一种显微镜，其特征在于：包括权利要求4所述的一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构。
7.根据权利要求6所述的一种显微镜，其特征在于：包括石英音叉(11)、压电陶瓷(12)、激励振荡器(13)、探针(7)，其中，所述探针(7)安装在石英音叉(11)上，所述石英音叉(11)安装在压电陶瓷(12)上，所述压电陶瓷(12)安装在激励振荡器(13)上，所述探针(7)设置于滑杆(4)的延伸轴线上。
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