[发明专利]清洗设备

摘要

本发明提供一种清洗设备，其包括腔体、工艺槽和开闭装置，工艺槽设置于腔体内，用于盛放清洗液；开闭装置包括柔性膜、第一卷轴组件和第二卷轴组件；其中，柔性膜覆盖于工艺槽的槽口上，并且具有与工艺槽的槽口相配合的开口部和遮挡部；柔性膜的两端分别卷绕在第一卷轴组件和第二卷轴组件上，且第一卷轴组件和第二卷轴组件能够沿相同方向同步转动以带动柔性膜移动，以使开口部和遮挡部对工艺槽的槽口进行选择性地敞开或遮挡。本发明提供的清洗设备能够有效避免腔体内部气流的流动受到阻碍，且其中的开闭装置不会与清洗设备中的机械手发生干涉。