[发明专利]一种排气管道结晶清除装置及半导体设备在审
| 申请号： | 202210076757.3 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN116511183A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 纵恒;陈信宏 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 张恺宁 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体设备领域，公开一种排气管道结晶清除装置及半导体设备。排气管道结晶清除装置，包括：压力检测单元、驱动机构和结晶破除机构；结晶破除机构安装于排气管道内部，驱动机构与结晶破除结构传动连接，用于驱动结晶破除机构清理排气管道的内壁；压力检测单元与驱动机构信号连接，用于实时监测排气管道内的排气压力，并当排气压力低于预设压力值时控制驱动机构动作。驱动机构驱动结晶破除机构动作以清理排气管道内壁上的结晶，全过程无需人工操作，响应及时，实现了在不拆除管道的前提下清除排气管道内壁上的结晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 排气 管道 结晶 清除 装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
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