[发明专利]制备石英玻璃的装置和方法在审
| 申请号： | 202210072732.6 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114315107A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 汤明明;沈一春;钱宜刚;陈峰 | 申请（专利权）人： | 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B19/14 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种制备石英玻璃的装置，该装置包括沉积组件及燃烧反应组件，燃烧反应组件沿竖直方向设置于沉积组件的上方。燃烧反应组件包括主转盘、第一驱动件及燃烧器，第一驱动件传动连接主转盘以带动主转盘转动，燃烧器连接于主转盘朝向沉积组件的一侧，燃烧器用于反应含硅原料以生成熔融二氧化硅体。沉积组件包括沉积转盘及第二驱动件，第二驱动件传动连接沉积转盘以带动沉积转盘转动，沉积转盘用于承接熔融二氧化硅体。本申请提供的制备石英玻璃的装置通过设置可转动的主转盘及可转动的沉积转盘，减少了大尺寸石英玻璃的温差，有利于提高大尺寸石英玻璃的均匀性。另，申请还提供一种制备石英玻璃的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 石英玻璃 装置 方法 | ||
【主权项】：
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