[发明专利]制备石英玻璃的装置和方法

说明书

本申请提供一种制备石英玻璃的装置，该装置包括沉积组件及燃烧反应组件，燃烧反应组件沿竖直方向设置于沉积组件的上方。燃烧反应组件包括主转盘、第一驱动件及燃烧器，第一驱动件传动连接主转盘以带动主转盘转动，燃烧器连接于主转盘朝向沉积组件的一侧，燃烧器用于反应含硅原料以生成熔融二氧化硅体。沉积组件包括沉积转盘及第二驱动件，第二驱动件传动连接沉积转盘以带动沉积转盘转动，沉积转盘用于承接熔融二氧化硅体。本申请提供的制备石英玻璃的装置通过设置可转动的主转盘及可转动的沉积转盘，减少了大尺寸石英玻璃的温差，有利于提高大尺寸石英玻璃的均匀性。另，申请还提供一种制备石英玻璃的方法。

技术领域

本申请涉及制备石英玻璃的装置和方法。

背景技术

近年来随着半导体技术、激光技术等行业的发展，直径大于1M的大尺寸和高均匀性的石英玻璃的需求变大。但是，尺寸越大的石英玻璃越容易在沉积过程中容易出现受热不均的情况，影响石英玻璃的均匀性。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种制备石英玻璃的装置，该装置可减少沉积过程中的受热不均问题，提高石英玻璃的均匀性。

另外，还有必要提供一种制备石英玻璃的方法。

一种制备石英玻璃的装置，所述制备装置包括沉积组件及燃烧反应组件，所述燃烧反应组件沿竖直方向设置于所述沉积组件的上方。所述燃烧反应组件包括主转盘、第一驱动件及燃烧器，所述第一驱动件传动连接所述主转盘以带动所述主转盘转动，所述燃烧器连接于所述主转盘朝向所述沉积组件的一侧，所述燃烧器用于反应含硅原料以生成熔融二氧化硅体。所述沉积组件包括沉积转盘及第二驱动件，所述第二驱动件传动连接所述沉积转盘以带动所述沉积转盘转动，所述沉积转盘用于承接所述熔融二氧化硅体。

进一步地，所述制备装置还包括储料单元，所述主转盘设置有第一流道，所述第一流道包括第一进料口及连通所述第一进料口的第一出料口，所述燃烧反应组件还包括第一旋转连通器，所述第一旋转连通器连通所述储料单元及所述第一进料口，所述第一出料口连通所述燃烧器。

进一步地，所述主转盘的转动方向与所述沉积转盘的转动方向相反。

进一步地，所述燃烧反应组件还包括副转盘及第三驱动件，所述副转盘设置于所述主转盘朝向所述沉积组件的一侧，所述第三驱动件传动连接所述副转盘以带动所述副转盘转动，所述燃烧器设置于所述副转盘朝向所述沉积组件的一侧。

进一步地，所述副转盘设置有第二流道，所述第二流道包括第二进料口及连通所述第二进料口的第二出料口，所述燃烧反应组件还包括第二旋转连通器，所述第二旋转连通器连通所述第一出料口及所述第二进料口，所述第二出料口连通所述燃烧器。

进一步地，所述主转盘、所述副转盘及所述沉积转盘相互平行设置。

进一步地，所述副转盘的竖向投影位于所述主转盘内，所述主转盘的竖向投影位于所述沉积转盘内。

进一步地，多个所述燃烧器设置于一个所述副转盘的一侧，多个所述副转盘设置于所述主转盘的一侧。

一种使用上述制备石英玻璃的装置的制备石英玻璃的方法，包括步骤：提供反应原料，所述反应原料包括含硅气体、氢气及氧气。将所述反应原料通入所述燃烧反应组件，设定所述主转盘以第一速度转动，所述燃烧器将所述反应原料燃烧生成熔融二氧化硅体。设定所述沉积转盘以第二速度转动，所述熔融二氧化硅体沉积于所述沉积转盘上以形成所述石英玻璃。

进一步地，所述第一速度为5～7r/min，所述第二速度为5～7r/min。

本申请提供的制备石英玻璃的装置，通过设置可转动的主转盘及可转动的沉积转盘，有利于减少了大尺寸石英玻璃各部分之间的温差，提高大尺寸石英玻璃的均匀性。

附图说明

图1为本申请实施例提供的制备石英玻璃的装置的示意图。