[发明专利]一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构在审
| 申请号： | 202210070349.7 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114453338A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陈兆荣 | 申请（专利权）人： | 赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京中创博腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11636 | 代理人： | 戴鹏 |
| 地址： | 214104 江苏省无锡市锡山区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种圆晶传输用颗粒外接吹扫机构，包括结构主体、晶圆、夹持机构与连接构件，所述连接构件一侧设置有连接杆，所述连接杆底端设置有气缸，所述气缸底端设置有伸缩杆，所述伸缩杆底端设有移动座，所述移动座内侧底部设有驱动机构，所述驱动机构的输出端传动连接有传动轴，且所述传动轴末端连接有转动环，所述转动环一侧表面设置有环形管，所述环形管一侧设置有吹扫机构；通过设计了气缸、伸缩杆、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传输 颗粒 外接 机构 | ||
【主权项】：
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