[发明专利]评估晶圆或单晶锭的质量的方法和装置在审
| 申请号： | 202210066477.4 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114819460A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 朴玹雨 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06;G06T7/00;G06T7/11;G06T7/62;G06N3/08;G06V10/774;G01N21/88;G06V10/82 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 尚玲;李维凤 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 评估晶圆的质量的方法或评估晶圆的质量的装置可以包括：对晶圆片或单晶锭进行铜雾度评估；基于铜雾度评估的结果采集铜雾度图数据以及铜雾度评估分数；基于铜雾度图数据和铜雾度评估分数训练人工智能模型；使用经学习的人工智能模型对晶圆或单晶锭进行晶体缺陷评估，该经学习的人工智能模型在输入铜雾度图数据时输出铜雾度评估分数。 | ||
| 搜索关键词： | 评估 单晶锭 质量 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
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