[发明专利]一种用于单面化学机械平坦化加工动态感知的监测装置在审
| 申请号： | 202210066416.8 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114800248A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陈佳鹏;彭亚男;林杰;郝晓东;何安捷 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B37/005;B24B49/00;B24B49/16 |
| 代理公司： | 上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙) 31293 | 代理人： | 刘朵朵 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于单面化学机械平坦化加工动态感知的监测装置，属于超精密加工监测技术领域。本监测装置安装在单面研磨抛光机上，可实现平面光整过程中工件状态的在线实时监测，其特征在于：包括传感器单元：包含至少两种传感器采集监测信号用于联合监测；信号调节单元：对所述采集信号幅值放大、衰减和/或频谱过滤；数据采集单元：对所述信号调节单元处理后的模拟信号转换成数字信号，并进行数字滤波、降噪、存储的数据预处理；处理器单元：对所述数据采集单元预处理后的数据进行模式识别实现工件加工动态指标的可视化。本发明设计的在线实时监测装置具有多传感、抗干扰、高准确性、适用面广、成本低、操作方便、智能化水平高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单面 化学 机械 平坦 加工 动态 感知 监测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海工程技术大学，未经上海工程技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210066416.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
