[发明专利]应力传感器和用于求取梯度补偿的机械应力分量的方法在审
| 申请号： | 202210065951.1 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114812877A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | M·莫茨 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;闫昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的创新方案涉及一种基于晶体管的应力传感器，具有带有第一和第二MOS晶体管装置的半导体衬底。第一MOS晶体管装置可以具有第一和第二MOS晶体管，分别带第一和第二源极漏极沟道区，其中第一和第二MOS晶体管相互取向成使得第一源极漏极沟道区中的电流流动方向与第二源极漏极沟道区中的电流流动方向相反。第二MOS晶体管装置可以具有第三和第四MOS晶体管，分别带第三和第四源极漏极沟道区，其中第三和第四MOS晶体管相互取向成使得第三源极漏极沟道区中的电流流动方向与第四源极漏极沟道区中的电流流动方向相反。基于晶体管的应力传感器提供梯度补偿的输出信号，输出信号用于确定作用在半导体衬底上的机械应力分量。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 传感器 用于 求取 梯度 补偿 机械 分量 方法 | ||
【主权项】：
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