[发明专利]微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用有效
| 申请号： | 202210064859.3 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114486005B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 颜黄苹;王子俊 | 申请（专利权）人： | 厦门大学;厦门大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 厦门市宽信知识产权代理有限公司 35246 | 代理人： | 李财龙 |
| 地址： | 361005 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，公开了微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用，微结构电容式柔性压力传感器包括上电极层、微结构介电层和下电极层，微结构介电层的上表面具有偶数的N阶矩阵分布的微结构，灵敏度预测方法通过在微结构介电层划分矩阵分布的大方块和小方块，并通过计算每个小方块的全局分布因素和局部分布因素对每个小方块所受的压强进行等效量化，之后通过每个小方块受到的压强计算整个微结构介电层的形变量，进而通过传感器的电容变化预测传感器的灵敏度，预测方法计算过程简单，准确率高，故有利于提高计算效率，且制备的经过优化后的传感器具有较高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 电容 柔性 压力传感器 灵敏度 预测 方法 应用 | ||
【主权项】：
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