[发明专利]一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备和去除方法在审
| 申请号： | 202210062254.0 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114453346A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;王盛凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备和去除方法，涉及半导体技术领域。本申请提供一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，该去除设备包括可开闭的处理腔室、承载台、加热组件、降温组件和总控器；处理腔室具有出气口、第一进气口和第二进气口，或，处理腔室具有出气口和第一进气口，第一进气口用于向处理腔室内部通入保护气体，第二进气口用于使处理腔室与外界大气可断开的连通，出气口用于排出处理腔室内原有气体；承载台位于处理腔室中，用于承载具有碳纳米管的产品；加热组件用于加热位于承载台上的产品；降温组件用于向处理腔室中通入降温气体以冷却纳米管；总控器分别与加热组件、降温组件通信连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针对 纳米 表面 残留 有机物 去除 设备 方法 | ||
【主权项】：
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