[发明专利]一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备和去除方法

权利要求书

1.一种针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，包括可开闭的处理腔室、承载台、加热组件、降温组件和总控器；

所述处理腔室具有出气口、第一进气口和第二进气口，或，所述处理腔室具有所述出气口和所述第一进气口，所述第一进气口用于向所述处理腔室内部通入保护气体，所述第二进气口用于使所述处理腔室与外界大气可断开的连通，所述出气口用于排出所述处理腔室内原有气体；

所述承载台位于所述处理腔室中，用于承载具有碳纳米管的产品；

所述加热组件用于加热位于所述承载台上的所述产品；

所述降温组件位于所述处理腔室外，并与所述处理腔室连通，用于向所述处理腔室中通入降温气体以冷却所述纳米管；

所述总控器分别与所述加热组件、所述降温组件连接，以控制所述加热组件的开启、关闭和加热速率，以及控制所述降温组件的开启、关闭和降温速率。

2.根据权利要求1所述的针对所述碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，还包括抽气组件和/或充气组件，所述抽气组件与所述出气口连通，所述充气组件与所述第一进气口连通。

3.根据权利要求2所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，所述抽气组件包括机械真空泵和/或分子真空泵。

4.根据权利要求1所述的针对所述碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，还包括温度感应装置，所述温度感应装置设置于所述承载台上，以检测所述产品的温度；

所述温度感应装置与所述总控器连接，以将温度信号传送给所述总控器。

5.根据权利要求4所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，所述温度感应装置包括热电偶温度传感器、热电阻温度传感器和电容式温度传感器中的至少一者。

6.根据权利要求4所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，所述温度感应装置位于所述承载台的承载面上，或位于所述承载台的内部。

7.根据权利要求1所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，还包括安装在所述承载台上的固定装置，所述固定装置用于将所述产品可解除地固定在所述承载台上。

8.根据权利要求7所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，所述固定装置包括真空吸盘、静电吸盘、磁力吸附件和紧固件中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，还包括安装在所述处理腔室中的第一位置调节器，所述承载台安装在所述第一位置调节器上；

所述第一位置调节器为手动调节器，和/或，所述第一位置调节器为能够与所述总控器通信连接的电动调节器。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，所述加热组件包括加热源，所述加热源包括激光器、卤素灯和红外灯中的至少一种。

11.根据权利要求10所述的针对碳纳米管表面残留有机物的去除设备，其特征在于，所述加热组件还包括聚焦透镜，

当所述加热源包括激光器时，所述激光器位于所述处理腔室内，所述聚焦透镜安装在所述激光器的朝向所述承载台的一侧；

当所述加热源包括卤素灯时，所述卤素灯位于所述处理腔室内，所述聚焦透镜安装在所述卤素灯的朝向所述承载台的一侧；

当所述加热源包括红外灯时，所述红外灯位于所述处理腔室内，所述聚焦透镜安装在所述红外灯的朝向所述承载台的一侧。