[发明专利]一种蒸镀破片检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202210055763.0 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114182203A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 温质康;庄丹丹;乔小平;苏智昱 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/52;C23C14/54;H01L21/66;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀破片检测装置及检测方法，包括腔体和机械手，所述腔体内设有用于放置玻璃基板的承接托盘，所述机械手用于将玻璃基板放置在承接托盘上；所述承接托盘和机械手的四个承接脚上均安装有压力检测装置，压力检测装置用于分别测试四个承接脚上的压力，压力检测装置与设备控制端电性连接；本发明提供的一种蒸镀破片检测装置及检测方法，本发明在玻璃基板进入腔体之后，通过压力检测装置反馈装置，检测玻璃基板给予承接托盘的接触的压力，反馈出玻璃基板有无破裂，叠层，滑片等异常现象，及时反馈制程的状态，有利保护机台内部贵重的机构（蒸镀MASK），减少异常破片对机台的伤害，提高机台的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 破片 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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