[发明专利]一种蒸镀破片检测装置及检测方法

说明书

本发明公开了一种蒸镀破片检测装置及检测方法，包括腔体和机械手，所述腔体内设有用于放置玻璃基板的承接托盘，所述机械手用于将玻璃基板放置在承接托盘上；所述承接托盘和机械手的四个承接脚上均安装有压力检测装置，压力检测装置用于分别测试四个承接脚上的压力，压力检测装置与设备控制端电性连接；本发明提供的一种蒸镀破片检测装置及检测方法，本发明在玻璃基板进入腔体之后，通过压力检测装置反馈装置，检测玻璃基板给予承接托盘的接触的压力，反馈出玻璃基板有无破裂，叠层，滑片等异常现象，及时反馈制程的状态，有利保护机台内部贵重的机构（蒸镀MASK），减少异常破片对机台的伤害，提高机台的稼动率。

技术领域

本发明属于OLED显示器技术领域，具体涉及一种蒸镀破片检测装置及检测方法。

背景技术

目前随着显示技术的发展，OLED显示器具备自发光特性，低功耗，宽视角，响应速度快，超轻期薄，抗震性好，可实现柔性显示与大面积全色显示等优势，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置显示面板行业中。

其中OLED显示器包含TFT驱动电路，OLED发光器件，在制备TFT器件器件线路时，需要借助PVD/CVD设备进行TF（镀膜），曝光机进行Photo（曝光显影），DRY设备进行Etch（干刻蚀刻），制备OLED发光器件多采用蒸镀真空设备进行蒸镀，所使用的设备大多数为真空设备，或者需要在密闭腔室内完成制程；

在器件制备过程中需要采用铟瓦合金制作的MASK遮挡非成膜区域，并且蒸镀MASK，玻璃基板，磁铁吸盘三者压合在一起，起到承接基板防止基板裂片和滑片以及避免Showde affect的作用；但是玻璃基板传过程中多采用光栅以及光电检测sensor在玻璃基板的底部和顶部检测反馈玻璃的状态，以实现玻璃基板在机械手以及设备各个腔体内部来回传送换片，在蒸镀制程中蒸镀MASK，玻璃基板，磁铁吸盘三者压合在一起时，顶部和底部均被遮挡无法设置光栅以及光电检测sensor，无法检测制程中的玻璃有无破裂，这导致机台进行下一步动作，直接导致玻璃碎片撞击着机台内部结构，导致机台内部结构损伤，MASK划伤戳伤等异常报废；为此，我们提出一种蒸镀破片检测装置及检测方法，以解决上述背景技术中提到的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀破片检测装置及检测方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种蒸镀破片检测装置，包括腔体和机械手，所述腔体内设有用于放置玻璃基板的承接托盘，所述机械手用于将玻璃基板放置在承接托盘上；

所述承接托盘和机械手的四个承接脚上均安装有压力检测装置，压力检测装置用于分别测试四个承接脚上的压力，压力检测装置与设备控制端电性连接；

所述腔体内设有位于承接托盘上方的磁铁吸盘、位于承接托盘下方的蒸镀MASK、位于蒸镀MASK正下方的坩埚蒸发源，所述腔体底部设有pump抽气管道。

所述玻璃基板的密度为2.5克/立方厘米，玻璃基板的长宽高分别为470毫米、365毫米、0.5毫米。2.5G玻璃的体积=长×宽×高，即其体积=470毫米×365毫米×0.5毫米=85.775立方厘米，因此2.5G玻璃重量约为214克，其重力为G=mg=2.14N，因此可设立检测装置的压力规格质值为0.53±0.03，其规格值可根据不同世代玻璃的重力值而灵活设置。

所述压力检测装置检测玻璃基板给与的压力值小于规格值时，表示此处玻璃基板有位移或者此处的玻璃基板已近发生破裂。

一种蒸镀破片检测装置的检测方法，具体包括以下步骤：

S1、玻璃基板通过机械手进入腔体，并且机械手携带玻璃基板插入承接托盘，机械手往下降落并将玻璃基板放置在承接托盘之上，机械手缩回；