[发明专利]一种异质结电池的TCO薄膜及其制作方法在审
| 申请号： | 202210055453.9 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114481028A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张生利;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;H01L31/18;H01L31/02;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本申请适用于太阳能电池领域，提供了一种异质结电池的TCO薄膜及其制作方法。异质结电池的TCO薄膜的制作方法，溅射系统中的靶材为(In |
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| 搜索关键词： | 一种 异质结 电池 tco 薄膜 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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