[发明专利]一种MoSe2有效

专利信息
申请号: 202210050664.3 申请日: 2022-01-17
公开(公告)号: CN114348974B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 冀璞光;韩双斌;康少明;刘影;郭志易;王志伟;闫钰夫;冯建航;王恭凯;王宇;殷福星 申请(专利权)人: 河北工业大学
主分类号: C01B19/00 分类号: C01B19/00;B82Y30/00;B82Y40/00;B01J27/057;B01J35/04
代理公司: 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 代理人: 赵凤英
地址: 300130 天津市红桥区*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明为一种MoSe2纳米颗粒的制备方法。该方法在等离子体增强化学气相沉积系统中,将含Mo(CO)6的石英舟放置第一管式炉的中心区域,将含Se的石英舟放置第二管式炉从入口处起10~50%的区域;利用反应物质在特定温度下具有固定蒸发速率的特点,将反应物质置于管式炉中产生稳定的蒸汽,通过真空装置使气态物质扩散到反应区,使等离子体增强化学气相沉积系统可在较低的真空度下进行化学反应。本发明反应过程中的真空度较低(1‑200Pa),等离子体在该真空环境下可稳定存在。稳定的等离子体能促进反应的进行,进而有效地降低合成温度,减小合成能耗,提高产率。
搜索关键词: 一种 mose base sub
【主权项】:
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