[发明专利]一种MoSe2

权利要求书

1.一种MoSe₂纳米颗粒的制备方法，其特征为该方法包括以下几个步骤：

(1).将Mo(CO)₆和Se粉置于两个石英舟内，摩尔比为Mo(CO)₆：Se＝1:2-10；

(2).在等离子体增强化学气相沉积系统中，将含Mo(CO)₆的石英舟放置第一管式炉的中心区域，将含Se的石英舟放置第二管式炉入口处起10～50％的区域；

(3).在惰性气体的保护下，设定第一管式炉的温度为100-200℃，第二管式炉的温度为300-700℃；然后先开启第二管式炉，10-30min后开启第一管式炉，使两管式炉同时达到设定温度；

所述的第一管式炉、第二管式炉的升温速率为10-20℃/min；

(4)在两个管式炉达到指定温度的1-10min前，关闭惰性气体，开启并设定真空泵，将石英管内真空抽至1-200Pa之间；

(5)设定射频功率,启动等离子体装置和冷却装置，反应15-30min，Mo(CO)₆和Se粉在第二管式炉反应后，进入冷却区遇冷沉积得到颗粒；

其中，射频功率为50-500W；冷却装置的温度20-30℃；

(6)收集石英管最右端冷却下来的颗粒；

(7)将(6)中收取的颗粒收集在石英管中，放入第三管式炉内，在还原气氛的条件下以10-20℃/min的速率升温到300-600℃，保温20-30min，得到纯净的MoSe₂纳米颗粒；

所述步骤(2)的等离子体化学气相沉积系统包括等离子体发生装置、第一管式炉、第二管式炉、冷却装置、真空装置、石英管、气路系统；其中，等离子体发生装置、第一管式炉、第二管式炉、冷却装置依次串联，石英管贯穿其中；石英管的末端还和真空装置相连。

2.如权利要求1所述的MoSe₂纳米颗粒的制备方法，其特征为所述步骤(3)中的惰性保护气体为氦气、氩气或氮气。

3.如权利要求1所述的MoSe₂纳米颗粒的制备方法，其特征为所述步骤(7)中的还原气氛为一氧化碳或氢气。

4.如权利要求1所述的MoSe₂纳米颗粒的制备方法，其特征为所述的含Se的石英舟的位置优选为当第二管式炉达到设定温度时，炉内实际温度为300℃的位置。