[发明专利]一种适用于真空中运动部件的组合密封机构及半导体设备在审
| 申请号： | 202210050605.6 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114370505A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 陆北源 | 申请（专利权）人： | 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/3232 | 分类号： | F16J15/3232;F16J15/3284;F16J15/3268 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 梁晓婷 |
| 地址： | 226400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明的实施例提供了一种适用于真空中运动部件的组合密封机构及半导体设备，涉及密封设备技术领域。适用于真空运动部件的组合密封机构包括运动密封圈、第一弹性密封圈、第二弹性密封圈及固定组件。固定组件用于固定运动密封圈、第一弹性密封圈及第二弹性密封圈。运动密封圈靠近于大气端，运动密封圈、第一弹性密封圈及第二弹性密封圈用于沿运动轴的轴向依次套设于运动轴外，以共同用于运动轴在竖直运动、往复运动或旋转运动时隔绝真空端和大气端，从而实现较好的密封性能，并将漏率控制在10 |
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| 搜索关键词： | 一种 适用于 空中 运动 部件 组合 密封 机构 半导体设备 | ||
【主权项】：
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