[发明专利]一种适用于真空中运动部件的组合密封机构及半导体设备

说明书

本发明的实施例提供了一种适用于真空中运动部件的组合密封机构及半导体设备，涉及密封设备技术领域。适用于真空运动部件的组合密封机构包括运动密封圈、第一弹性密封圈、第二弹性密封圈及固定组件。固定组件用于固定运动密封圈、第一弹性密封圈及第二弹性密封圈。运动密封圈靠近于大气端，运动密封圈、第一弹性密封圈及第二弹性密封圈用于沿运动轴的轴向依次套设于运动轴外，以共同用于运动轴在竖直运动、往复运动或旋转运动时隔绝真空端和大气端，从而实现较好的密封性能，并将漏率控制在10^‑11～10^‑12Pa·m³/s。因此本发明结构简单，便于拆卸维护且使用寿命长，能广泛应用于轴类的高真空密封作业。

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体而言，涉及一种适用于真空中运动部件的组合密封机构及半导体设备。

背景技术

在半导体行业中通常需要进行密封的真空作业，而密封可分为静态密封和动态密封，动态密封相对静态密封而言难度高很多。

目前行业中通常采用真空密封机构进行密封，然而在动态密封的高真空或超高真空中，现有的真空密封机构很难维持高真空度，漏率较高且很难保持一致。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种适用于真空中运动部件的组合密封机构及半导体设备，其密封效果好，能够提供较高真空度的工作环境，有效降低漏率。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种适用于真空运动部件的组合密封机构，应用于运动轴，所述运动轴的两端分别连接真空端和大气端，所述适用于真空运动部件的组合密封机构包括运动密封圈、第一弹性密封圈、第二弹性密封圈及固定组件；

所述运动密封圈、所述第一弹性密封圈及所述第二弹性密封圈用于沿所述运动轴的轴向依次套设于所述运动轴外，且其中所述运动密封圈靠近于所述大气端；

所述固定组件用于固定所述运动密封圈、所述第一弹性密封圈及所述第二弹性密封圈；

所述运动密封圈、所述第一弹性密封圈及所述第二弹性密封圈共同用于所述运动轴在竖直运动、往复运动或旋转运动时隔绝所述真空端和所述大气端。

在可选的实施方式中，所述运动密封圈包括多个凹弧面和多个凸弧面，所述凸弧面连接两个相邻的所述凹弧面，以使所述运动密封圈的横截面呈X状；

所述运动密封圈内圈的凸弧面用于与所述运动轴滑动连接，所述运动密封圈外圈的凸弧面抵持于所述固定组件。

在可选的实施方式中，所述第一弹性密封圈开设有环状且连通的第一凹槽，所述第一凹槽的开口朝向所述大气端。

在可选的实施方式中，所述第一弹性密封圈还包括多个弹性片，所述弹性片的形状与所述第一凹槽匹配，多个所述弹性片等间距的贴设于所述第一凹槽内。

在可选的实施方式中，所述第二弹性密封圈开设有环状且连通的第二凹槽，所述第二凹槽的开口朝向所述大气端。

在可选的实施方式中，所述第二弹性密封圈还包括弹性圈，所述弹性圈套设于所述第二凹槽靠近于所述运动轴的侧壁；

所述第二弹性密封圈的内圈壁凸设有凸起，所述凸起与所述弹性圈相背设置，所述凸起用于与所述运动轴滑动连接。

在可选的实施方式中，所述适用于真空中运动部件的组合密封机构还包括封脂圈和真空脂，所述封脂圈套设于所述运动轴外，并位于所述运动密封圈和所述第一弹性密封圈之间；

所述封脂圈的内圈壁开设有环状且连通的第三凹槽，所述第三凹槽的开口朝向所述运动轴，所述真空脂注入所述第三凹槽。