[发明专利]一种制备氧化镓料棒的装置及方法有效
| 申请号： | 202210047059.0 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114059173B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 张辉;王嘉斌;夏宁;马可可;刘莹莹;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/16 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 田金霞 |
| 地址： | 311200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备氧化镓料棒的装置及方法，在接近常压的条件下，用气相沉积法制备纯氧化镓或特定掺杂氧化镓料棒；通过将有机的镓料与有机或无机的目标掺杂料和氧气混合，通过燃烧将目标元素掺杂的氧化镓粉末堆积在目标棒上，获得掺杂氧化镓的原料棒。由气相法制备的氧化镓料棒可以避免氧化镓料棒的污染，同时可以实现目标元素的纳米级别掺杂，在后续的晶体生长过程中，使熔体中元素的分布更加均匀分散，进而使掺杂晶体的性能更加的均一稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氧化 镓料棒 装置 方法 | ||
【主权项】：
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