[发明专利]一种制备氧化镓料棒的装置及方法

权利要求书

1.一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，包括：

镓料供应装置，用于盛放与供应有机镓原料；

第一汽化装置，所述第一汽化装置将所述镓料供应装置输出的有机镓原料汽化；

第一送料泵，所述第一送料泵用于将有机镓原料输送至所述第一汽化装置；

燃烧反应装置，所述燃烧反应装置与所述第一汽化装置连接，用于燃烧汽化有机镓原料；

喷灯装置，所述喷灯装置设置于所述燃烧反应装置内，用于接收与混合燃烧汽化有机镓原料与氧气；

料棒连接装置，所述料棒连接装置可活动地设置于所述燃烧反应装置内部，在所述料棒连接装置的下端连接有氧化镓料棒，用于接收燃烧反应装置内燃烧后产生的氧化镓，上部设有称重传感器，用于控制氧化镓料棒的沉积过程；

驱动装置，所述驱动装置用于驱动料棒连接装置在燃烧反应装置内部的移动；

废气处理装置，所述废气处理装置用于接收所述燃烧反应装置内产生的废气。

2.根据权利要求1所述的一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，所述第一汽化装置包括闪蒸罐与加热装置，所述加热装置包裹所述闪蒸罐的外部，所述闪蒸罐的底部设有称重系统。

3.根据权利要求1所述的一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，所述喷灯装置的喷灯口与水平线之间的夹角为30°-60°。

4.根据权利要求1所述的一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，所述料棒连接装置的下端用于夹持氧化镓料棒，所述料棒连接装置的上端与所述驱动装置固定，所述驱动装置控制所述料棒连接装置旋转，上升或下降。

5.根据权利要求1所述的一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，所述废气处理装置包括废气收集组件与粉尘处理组件。

6.根据权利要求1所述的一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，所述燃烧反应装置顶部还设有压力检测装置与温度检测装置，所述燃烧反应装置的夹层中设置有冷却管道。

7.根据权利要求1所述的一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，所述镓料供应装置，所述第一汽 化装置以及所述燃烧反应装置之间通过不锈钢管道连接，所述不锈钢管道进行加热并保温。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种制备氧化镓料棒的装置，其特征在于，还包括掺杂料源供应装置、第二汽化装置与第二送料泵，所述第二送料泵用于将掺杂料源输送至所述第二汽化装置，所述第二汽化装置与所述喷灯装置连接，将汽化后的掺杂料源输送至所述喷灯装置。