[发明专利]微机电系统加速度计在审
| 申请号： | 202210040635.9 | 申请日： | 2022-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN114487480A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 严世涛;占瞻;杨珊;马昭;阚枭;彭宏韬;李杨;陈秋玉;洪燕;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机电系统加速度计，包括：检验质量、至少一对相对设置的跷跷板结构、以及面外位移检测组件，所述面外位移检测组件用于检测所述跷跷板结构的转动或者所述检验质量的面外线性运动；其中，每两个相对设置的所述跷跷板结构之间通过第一耦合结构在第一侧进行耦合连接，该两个通过第一耦合结构耦合连接的跷跷板结构的第二侧通过第二耦合结构连接到所述检验质量，所述第一耦合结构、第二耦合结构均为弹性耦合结构。本发明有利于提高电容位移检测的线性度，并有利于其它非电容的检测方式，同时，采用双耦合结构，抑制了跷跷板结构的其余平动和转动模态。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 加速度计 | ||
【主权项】：
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