[发明专利]一种拉晶状态监测装置及拉晶设备在审
| 申请号： | 202210033299.5 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114481303A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 董志文;何开振;杨君;庄再城;胡方明;纪步佳;杨国炜;孙进;曹葵康;薛峰 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种拉晶状态监测装置及拉晶设备，属于半导体领域，装置包括镜头、相机、相机转接板、调整连接组件、主支柱和支柱座；相机通过相机转接板与调整连接组件连接，调整连接组件通过主支柱和支柱座与机架或晶炉炉体连接，镜头和相机通过调整连接组件正对晶炉的视窗设置，以对炉内的拉晶状态图像采集实现状态监测。拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、拉晶状态图像接收处理和加料需求的控制；通过本申请，可以对拉晶炉内硅料熔化及拉晶状态实时监测，有效控制拉晶质量，结构简单，便于在半导体制造领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 状态 监测 装置 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州天准科技股份有限公司，未经苏州天准科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210033299.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
