[发明专利]一种拉晶状态监测装置及拉晶设备

权利要求书

1.一种拉晶状态监测装置，其特征在于：拉晶状态监测装置包括镜头(1)、相机(2)、相机转接板(3)、调整连接组件、主支柱(7)和支柱座(8)；其中，镜头(1)可拆换的设置在所述相机(2)下方，所述相机(2)通过相机转接板(3)与调整连接组件连接，所述调整连接组件通过主支柱(7)和支柱座(8)与机架或晶炉炉体连接；所述镜头(1)和相机(2)通过调整连接组件正对晶炉的视窗设置，并通过调整曝光时间匹配不同拉晶阶段的图像亮度差异，实现对炉内的拉晶状态图像采集实现状态监测。

2.根据权利要求1所述的拉晶状态监测装置，其特征在于：所述镜头(1)和相机(2)通过调整连接组件相对于晶炉的视窗实现高度和俯仰角的调节。

3.根据权利要求1所述的拉晶状态监测装置，其特征在于：所述镜头(1)和相机(2)采用全局曝光相机或卷帘曝光相机。

4.根据权利要求1所述的拉晶状态监测装置，其特征在于：调整连接组件包括水平夹头(4)、副支柱(5)和竖直夹头(6)，所述水平夹头(4)的底座安装至相机转接板(3)，所述副支柱(5)的两端可调的夹持在所述水平夹头(4)和竖直夹头(6)的夹孔中，所述竖直夹头(6)的另一夹孔可调的夹持所述主支柱(7)。

5.根据权利要求1所述的拉晶状态监测装置，其特征在于：装置还包括支柱底组(9)，所述支柱座(8)通过支柱底组(9)转接至机架或晶炉视窗上。

6.根据权利要求5所述的拉晶状态监测装置，其特征在于：所述支柱底组(9)为移动定位板组，通过所述移动定位板组是的装置相对于晶炉视窗移动。

7.根据权利要求6所述的拉晶状态监测装置，其特征在于：所述移动定位板组包括直线电机机构、电缸驱动机构或丝杆传动机构。

8.根据权利要求7所述的拉晶状态监测装置，其特征在于：炉体视窗的边缘设置监测底座(10)，所述监测底座(10)与支柱底组(9)匹配设置，所述监测底座(10)的形状包括圆环形、长腰槽形、矩形或半圆形。

9.一种状态实时监测的拉晶设备，其特征在于：所述拉晶设备包括炉体(100)、旋转坩埚(200)、拉晶单元(300)、状态监测单元(400)、加料器(500)和控制器(600)，所述加料器(500)穿过炉体(100)朝向旋转坩埚(200)设置，所述旋转坩埚(200)、拉晶单元(300)、状态监测单元(400)和加料器(500)与所述控制器(600)电讯可控的连接，所述控制器(600)用于坩埚转速、拉晶绳运动、拉晶状态图像接收处理和加料需求的控制，其中，所述状态监测单元(400)采用权利要求1-8任一项所述的拉晶状态监测装置。