[发明专利]一种透射式空间光调制器相位和振幅调制特性的测量方法在审
申请号: | 202210030463.7 | 申请日: | 2022-01-12 |
公开(公告)号: | CN114354140A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 高星;夏高飞;武耀霞;王华 | 申请(专利权)人: | 西安中科微星光电科技有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 孟洁 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新区毕原*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种透射式空间光调制器相位和振幅调制特性的测量方法,包括如下步骤:S1、搭建光路,使激光通过双缝分别与空间光调制器不同区域调制;S2、通过图像采集双缝干涉光路,提取得到干涉条纹曲线;S3、采用相位模型转换计算出灰度相位曲线;S4、通过计算图像对比度,得到分别通过双缝间的光强差异,得到振幅调制效果;本发明无需其他光学器件,利用激光和CCD,在调制器上加载双缝图案即可测得对应的相位与振幅调制特性,此方式相较于利用反射镜生成参考波来干涉的方式,最大特点在于不需要参考波,利用双缝干涉完成相位和振幅的标定。 | ||
搜索关键词: | 一种 透射 空间 调制器 相位 振幅 调制 特性 测量方法 | ||
【主权项】:
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