[发明专利]一种狭缝涂布装置及其工作方法在审
申请号: | 202210030445.9 | 申请日: | 2022-01-12 |
公开(公告)号: | CN114388699A | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 郑飞;毕恩兵;陈汉 | 申请(专利权)人: | 上海黎元新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;B05C5/02;B05C11/06;B05C9/14;B05D3/04 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 林志豪 |
地址: | 201400 上海市奉贤区*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种狭缝涂布装置及其工作方法,包括:基座;移动控制系统,用于控制涂覆基底于基座上沿第一方向匀速运动;涂覆系统,设于基座的上方,涂覆系统包括:刀头、与刀头通过第一导管接头相连接的第一导管、与第一导管相对于刀头的另一端相连接的注射器、以及控制注射器的注射控制系统;气体吹扫系统,设于基座的上方,气体吹扫系统包括:风刀、与风刀通过第二导管接头相连接的第二导管、与第二导管相对于风刀的另一端相连接的气源、用于加热气体的气体加热装置、以及用于控制气体吹扫流速的计量计;其中,刀头和风刀沿第一方向依次布置,刀头和风刀同步运行。本发明能够在涂覆过程中及时将溶剂吹干、烘干,避免溶剂团聚。 | ||
搜索关键词: | 一种 狭缝 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海黎元新能源科技有限公司,未经上海黎元新能源科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210030445.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择