[发明专利]一种狭缝涂布装置及其工作方法在审

专利信息
申请号: 202210030445.9 申请日: 2022-01-12
公开(公告)号: CN114388699A 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 郑飞;毕恩兵;陈汉 申请(专利权)人: 上海黎元新能源科技有限公司
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;B05C5/02;B05C11/06;B05C9/14;B05D3/04
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 林志豪
地址: 201400 上海市奉贤区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种狭缝涂布装置及其工作方法,包括:基座;移动控制系统,用于控制涂覆基底于基座上沿第一方向匀速运动;涂覆系统,设于基座的上方,涂覆系统包括:刀头、与刀头通过第一导管接头相连接的第一导管、与第一导管相对于刀头的另一端相连接的注射器、以及控制注射器的注射控制系统;气体吹扫系统,设于基座的上方,气体吹扫系统包括:风刀、与风刀通过第二导管接头相连接的第二导管、与第二导管相对于风刀的另一端相连接的气源、用于加热气体的气体加热装置、以及用于控制气体吹扫流速的计量计;其中,刀头和风刀沿第一方向依次布置,刀头和风刀同步运行。本发明能够在涂覆过程中及时将溶剂吹干、烘干,避免溶剂团聚。
搜索关键词: 一种 狭缝 装置 及其 工作 方法
【主权项】:
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