[发明专利]锁频单脉冲绿光超快激光晶圆打标方法和系统在审
| 申请号： | 202210019722.6 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114260585A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京赢圣科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/0622;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100044 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供锁频单脉冲绿光超快激光晶圆打标方法和系统，所述方法包括步骤：1)设置能够在高重复频率下发射高能量单脉冲且单脉冲能量一致性高的超快激光器；2)锁定发射频率为定值；3)所述超快激光经过整形光路、光束传输光路输入到振镜、再经过场镜后聚焦晶圆表面；4)在软硬件控制器的控制下完成打标。本发明的打标方法通过高单脉冲能量的超快激光汽化材料加工面来实现打标，几乎没有热影响区出现，将激光对晶圆的破坏程度减小到最低，但打标结果精密、细致、牢固，提供全新的效果。堆积物高度大幅降低、晶圆表面粗糙度小，打标的一致性和均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 锁频单 脉冲 绿光超快 激光 晶圆打标 方法 系统 | ||
【主权项】：
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