[发明专利]一种活性金属钎焊陶瓷基板及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210015854.1 申请日: 2022-01-07
公开(公告)号: CN114373685A 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 井敏 申请(专利权)人: 井敏
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/498
代理公司: 江苏瑞途律师事务所 32346 代理人: 金龙;陈文飞
地址: 234222*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种活性金属钎焊陶瓷基板及其制作方法,属于陶瓷金属化处理领域。本发明方法为:在金属片上以不完全蚀刻的方式加工线路图形;而后将活性金属焊料整体印刷在线路图形上并进行烘干;然后将金属片进行表面处理;再将清洗后的陶瓷片安装在金属片的固定槽内,再对金属片进行对折得到组装件;之后将N件组装件叠压在一起并进行烧结,使得金属片与陶瓷片烧结在一起;其中,N≥1;而后去除组装件残余的金属形成活性金属钎焊陶瓷基板。针对现有技术中的AMB基板制作过程易造成化学污染且蚀刻困难的问题,本发明的制作工艺省略了蚀刻液和活性金属焊料的使用,不仅避免了环境污染问题,还大大降低了生产成本。
搜索关键词: 一种 活性 金属 钎焊 陶瓷 及其 制作方法
【主权项】:
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