[发明专利]一种液态金属热管封装装置及方法有效
申请号: | 202210015055.4 | 申请日: | 2022-01-07 |
公开(公告)号: | CN114396817B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 王成龙;田智星;房玉良;郭凯伦;张大林;田文喜;秋穗正;苏光辉 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | F28D15/02 | 分类号: | F28D15/02;F04B37/14;F04B41/06 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 何会侠 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种液态金属热管封装装置及方法,该装置包括真空操作箱、惰性气体储藏罐、真空泵机组、液态金属储藏罐、电磁流量计、热管、水氧检测仪、氦质谱检漏仪、真空计、阀门及相关管线。真空操作箱为热管灌装提供真空环境;惰性气体储藏罐提供惰性气体;真空泵机组排除真空操作箱内气体和为热管抽真空;液态金属储藏罐储藏液态金属工质;电磁流量计计量灌装液态金属工质的质量;水氧检测仪、氦质谱检漏仪、真空计检测灌装过程中的水氧含量、泄漏率、真空度。本装置结构简单、操作简便、液态金属灌装质量可控、热管灌装真空度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 液态 金属 热管 封装 装置 方法 | ||
【主权项】:
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