[发明专利]一种改善单晶硅片烘干的方法在审
| 申请号： | 202210014271.7 | 申请日： | 2022-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114353476A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡昌顺;邹敏凤;谢耀辉;张鹏;曹其伟 | 申请（专利权）人： | 江西中弘晶能科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B21/14;F26B25/06;F26B25/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 毛毛 |
| 地址： | 344000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明属于涉及单晶电池片技术领域，具体一种改善单晶硅片烘干的方法，通过对烘干槽进行优化，改变硅片和花篮在烘干槽内的状态，使硅片和花篮之间的水分更容易烘干。具体地，改进槽体的花篮支架，由原来静止不动的花篮支架，通过为花篮支架增加升降机构，使其在烘干过程中缓慢进行升降，使花篮在烘干时存在一定倾斜角度，利用重力和烘干时通入的热氮气流，使各个硅片在花篮内的相邻两个花篮齿之间移动，从而避免硅片和花篮因水的表面张力而吸附在一起，改善因硅片与花篮的接触引起的烘干困难的情况。本发明降低了硅片烘干工艺的温度，缩短了烘干工艺时间，可有效降级能耗，节约成本；同时可减少烘干后带液片的数量，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 单晶硅 烘干 方法 | ||
【主权项】：
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