[发明专利]反应炉的清洗装置及反应炉有效
| 申请号： | 202210013464.0 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114308946B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈涛 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/087 | 分类号： | B08B9/087;B08B15/04;B08B9/093;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 朱影 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种反应炉的清洗装置及反应炉，反应炉的清洗装置包括清洗部、支撑部和驱动部；清洗部被设置为与反应炉的内壁接触，支撑部设置于反应炉内，清洗部安装于支撑部；驱动部设置于支撑部的远离清洗部的一侧，并与支撑部的第一端部固定连接；其中，驱动部被设置为驱动支撑部转动，支撑部带动清洗部相对反应炉的内壁运动。本公开中的清洗部与反应炉的内壁接触，并由驱动部驱动，使得清洗部能够相对反应炉的内壁运动，实现了自动清洁的效果，无需人工手动清洁，提升清洁制程中的安全性；且自动清洁，可以掌控清洁力度，提升清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 反应炉 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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