[发明专利]一种多模式工作MEMS气体传感器及其工作方法在审
| 申请号： | 202210008087.1 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114018990A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 雷鸣;刘曰利;罗威 | 申请（专利权）人： | 武汉微纳传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N31/10;G01N31/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 姜展志 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种多模式工作MEMS气体传感器及其工作方法。该双模式工作MEMS气体传感器包括衬底、第一绝缘支撑层、加热电阻层、第二绝缘支撑层、敏感电极层、半导体气敏材料层、燃烧催化材料层，悬膜通孔。本发明通过在MEMS微热板加热区的悬膜正反面分别附着半导体气敏材料和燃烧催化材料，从而在同一MEMS微热板上实现半导体式和催化燃烧式气体传感器两种工作方式稳定可靠检测。该MEMS气体传感器尺寸小、成本低、检测气体种类多。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模式 工作 mems 气体 传感器 及其 方法 | ||
【主权项】：
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