[发明专利]一种单晶硅棒电阻率的测量方法及装置在审
| 申请号： | 202210007174.5 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114325105A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐志群;孙彬;付明全 | 申请（专利权）人： | 青海高景太阳能科技有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 潘行 |
| 地址： | 810000 青海省西*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种单晶硅棒电阻率的测量方法及装置，针对目前为了确认硅片在客户的电阻率范围内，所需抽样的硅片较多，测试结果等待的周期较长等问题，现提出如下方案，其中单晶硅棒电阻率的测量方法包括以下步骤：S1：测量单晶硅棒头部硅片电阻率，S2：计算单晶硅棒头部硅片掺杂浓度，S3：计算，其装置包括测量模块、第一计算模块、获取模块，本发明的目的是通过公式计算出固定位置处单晶硅棒的电阻率，减少抽取的硅片数量，缩短了等待周期，同时利用处理器执行所述程序避免了人工计算的错误，提高了计算的精确度，采用多种公式进行计算，并对测量结果进行对比，提高了所述测量方法的可信度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 电阻率 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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