[发明专利]一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202210002464.0 | 申请日： | 2022-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114323264B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 廖昭亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;G01J1/02;C23C14/28;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人： | 张先蓉 |
| 地址： | 230029 安徽省合肥市合作*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法，包括：能量计，安装在外部工作台上；导光壳，安装在真空壳体的入射口上；驱动部，驱动部的外部连接至导光壳上，驱动部的移动端设置有反光镜，可以帮助使用者得到真实的激光能量密度，帮助使用者保证不同批次生长的样品具有同样的激光能量密度，从而极大的帮助使用者提高样品的制备重复性和薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 真空设备 激光 原位 能量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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