[发明专利]一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，包括：

能量计（1），安装在外部工作台上；

导光壳（2），安装在真空壳体（5）的入射口上；

驱动部（3），所述驱动部（3）的外部连接至所述导光壳（2）上，所述驱动部（3）的移动端设置有反光镜（4）；

其中，所述导光壳（2）上设置有至少两个导出口（201），所述导出口（201）分别对应所述能量计（1）和所述真空壳体（5）的入射口，所述反光镜（4）设置在所述导光壳（2）内部，且用于改变所述导光壳（2）内部的光路；

所述驱动部（3）包括：

线性位移台（301），设置在所述导光壳（2）上，所述线性位移台（301）的移动端与所述反光镜（4）相连接；

真空法兰（302），固定在所述线性位移台（301）和所述导光壳（2）之间；

所述导光壳（2）上开设有导入口（202），所述导入口（202）与任意的所述导出口（201）同轴设置，至少两个所述导出口（201）的轴线相互不平行；

所述导出口（201）上安装有视窗法兰（203），所述导光壳（2）通过所述视窗法兰（203）与所述真空壳体（5）的入射口固定装配，且经过所述视窗法兰（203）向外导通所述光路。

2.根据权利要求1所述的一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，所述导光壳（2）还包括：

真空阀门（204），所述真空阀门（204）与所述导光壳（2）靠近所述真空壳体（5）的一端相连通。

3.根据权利要求1所述的一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，还包括：

导转座（6），安装在所述反光镜（4）底部，且与所述线性位移台（301）移动端转动连接。

4.一种测量真空设备内激光的原位能量的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

启动线性位移台（301）带动反光镜（4）向上移动，使反光镜（4）置于导光壳（2）内部激光的光路上；

从导入口（202）进行激光的射入，启动能量计（1）测得反射激光能量；

根据能量计（1）测得的反射激光能量与进入导入口（202）的激光能量，计算比例因子；

根据比例因子进行真空壳体（5）内部加工所需激光能量的计算；

所述测量真空设备内激光的原位能量测量方法采用权利要求1至3中任一项所述的测量真空设备内激光的原位能量测量装置，进行实验测量。

5.根据权利要求4所述的一种测量真空设备内激光的原位能量的测量方法，其特征在于，根据测得的反射激光能量与进入导入口（202）的激光能量，计算比例因子按照下述公式进行计算：

为进入导入口（202）的激光能量，为能量计（1）测量到的反射激光能量，为比例因子。

6.根据权利要求4所述的一种测量真空设备内激光的原位能量的测量方法，其特征在于，根据比例因子进行真空壳体（5）内部加工所需激光能量按照下述公式进行计算：

为进入导入口（202）的激光能量，为能量计（1）测量到的反射激光能量，为比例因子。