[发明专利]用于处理工具的主动夹持载体组件在审
申请号: | 202180093650.3 | 申请日: | 2021-12-01 |
公开(公告)号: | CN116830000A | 公开(公告)日: | 2023-09-29 |
发明(设计)人: | 本雅明·B·里奥顿;詹姆斯·D·斯特拉斯纳 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G02B6/136 | 分类号: | G02B6/136 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;吴启超 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开内容的实施方式涉及可以夹持多于一个的光学器件基板的载体组件以及用于形成该载体组件的方法。载体组件包括载体、一个或多个基板、和掩模。载体与掩模磁性耦接以保持一个或多个基板。载体组件用于在处理期间支撑和输送一个或多个基板。载体组件还用于在PVD处理期间掩蔽一个或多个基板。本文描述了用于在构建腔室中组装载体组件的方法。 | ||
搜索关键词: | 用于 处理 工具 主动 夹持 载体 组件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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