[发明专利]用于形成图像传感器的方法

摘要

用于形成利用空腔轮廓和所引起的应力的图像传感器的方法。在一些实施方式中，方法包括以下步骤：在基板中形成空腔，其中空腔具有配置为接受用于图像传感器的传感器像素结构的空腔轮廓；在空腔中形成至少一个钝化层；及在至少一个钝化层之一的至少一部分上的空腔中形成至少一个光学层。至少一个光学层配置为提供传感器像素结构的至少像素到像素的光学隔离。方法进一步包括以下步骤：在传感器像素结构的至少一个光学层上的空腔中形成传感器像素结构，其中空腔轮廓配置为控制传感器像素结构上的应力。