[发明专利]固化物的制造方法、树脂组合物、显影液、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法在审
| 申请号： | 202180046839.7 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN115867866A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 岛田和人;野崎敦靖;高岛美沙树 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种分辨率优异的固化物的制造方法、用于上述固化物的制造方法的树脂组合物及显影液、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法以及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的电子器件的制造方法。固化物的制造方法包括使用树脂组合物的膜形成工序、曝光工序、显影工序以及改性工序，该树脂组合物包含树脂、通过曝光而产生酸的化合物及溶剂，树脂为聚酰亚胺前体，树脂具有发生通过酸的作用而极性增加的反应的基团，显影液中的有机溶剂的含量为80质量％以上，通过改性，上述图案相对于树脂组合物所包含的溶剂的溶解性降低。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 制造 方法 树脂 组合 显影液 层叠 半导体器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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