[发明专利]检查方法在审
| 申请号： | 202180046788.8 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN115867779A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 小林信次;松田俊介 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供对具备圆偏振板(1)以及由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)有无缺陷进行判断的检查方法。将光源(2)、第一相位差滤光片(3A)、第一相位差板(4A)、被检查物(10)、第二相位差板(4B)以及第二相位差滤光片(3B)设为规定的配置，对被被检查物(10)反射的光进行观察，从而判断圆偏振板(1)有无缺陷。接着，将第一相位差板(4A)以及第二相位差板(4B)分别置换为相对于波长550nm的光的面内相位差值不同的第三相位差板以及第四相位差板，并再次使光入射，从而判断圆偏振板(1)有无缺陷。利用该检查方法也能够容易地检测出利用透射型的检查方法难以检测出的变形缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 | ||
【主权项】：
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