[发明专利]机械绝缘设备的污染屏蔽件在审
| 申请号： | 202180033361.4 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN115553070A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | A·B·里丁格;K·J·斯卡菲迪;N·J·莱德斯马;T·哈洛伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;F16L27/111;F16L51/03 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁;杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种装置包括：机械绝缘设备，该机械绝缘设备具有柔性波纹管(315)，该柔性波纹管(315)在第一凸缘和第二凸缘(325、330)之间延伸，该柔性波纹管(315)限定波纹管通道，该波纹管通道沿着轴向方向在第一凸缘的开口和第二凸缘的开口之间延伸；内刚性套筒(335)，该内刚性套筒(335)附连到第一凸缘或由第一凸缘支撑，并且在轴向方向上沿着波纹管通道延伸；以及屏蔽设备(340，包括即342、344)。内刚性套筒的外径小于柔性波纹管的内径。屏蔽设备至少部分地固定到第二凸缘或由第二凸缘支撑并且限定轴向设备开口，该轴向设备开口的直径小于柔性波纹管的内径并且大于内刚性套筒的外径。该屏蔽设备被配置为阻止微粒进入柔性波纹管与内刚性套筒之间的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 绝缘 设备 污染 屏蔽 | ||
【主权项】：
暂无信息
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