[发明专利]机械绝缘设备的污染屏蔽件在审

专利信息
申请号: 202180033361.4 申请日: 2021-04-08
公开(公告)号: CN115553070A 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: A·B·里丁格;K·J·斯卡菲迪;N·J·莱德斯马;T·哈洛伦 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: H05G2/00 分类号: H05G2/00;F16L27/111;F16L51/03
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 张宁;杨飞
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 机械 绝缘 设备 污染 屏蔽
【权利要求书】:

1.一种装置,包括:

机械绝缘设备,所述机械绝缘设备包括在第一凸缘与第二凸缘之间延伸的柔性波纹管,所述柔性波纹管限定在所述第一凸缘的开口和所述第二凸缘的开口之间沿着轴向方向延伸的波纹管通道;

内刚性套筒,附连到所述第一凸缘或由所述第一凸缘支撑、并且在所述轴向方向上沿着所述波纹管通道延伸,所述内刚性套筒的外径小于所述柔性波纹管的内径;以及

屏蔽设备,至少部分地固定到所述第二凸缘或由所述第二凸缘支撑并且限定轴向设备开口,所述轴向设备开口的直径小于所述柔性波纹管的所述内径并且大于所述内刚性套筒的所述外径,

其中所述屏蔽设备被配置为实现所述第一凸缘与所述第二凸缘之间的相对运动,所述相对运动包括沿着垂直于所述轴向方向的一个或多个方向的平移运动和围绕垂直于所述轴向方向的一个或多个方向的旋转运动。

2.根据权利要求1所述的装置,其中所述屏蔽设备延伸到所述波纹管通道中。

3.根据权利要求1所述的装置,其中所述柔性波纹管的内径与所述内刚性套筒的所述外径之间的距离大于所述柔性波纹管的所述内径的约10%、大于约20%或大于约30%。

4.根据权利要求1所述的装置,其中所述屏蔽设备包括一个或多个盘,所述一个或多个盘沿着不平行于所述轴向方向的方向延伸。

5.根据权利要求4所述的装置,其中所述一个或多个盘延伸的方向垂直于所述轴向方向。

6.根据权利要求4所述的装置,其中所述一个或多个盘包括多个盘,并且至少一个盘的外径与每个其他盘的外径不同,并且至少一个盘的内径与每个其他盘的内径不同。

7.根据权利要求4所述的装置,其中所述屏蔽设备还包括盘壳体,所述盘壳体被配置为保持所述一个或多个盘。

8.根据权利要求7所述的装置,其中所述一个或多个盘中的至少一个盘的外径大于所述盘壳体的内径。

9.根据权利要求7所述的装置,其中所述一个或多个盘包括多个盘,所述多个盘包括小盘,所述小盘的外径小于所述盘壳体的内径加上所述盘壳体的环形半径之和,所述小盘夹置于两个盘之间,所述两个盘各自的外径大于所述盘壳体的所述内径加上所述盘壳体的所述环形半径之和。

10.根据权利要求7所述的装置,其中每个盘由沿着所述轴向方向的厚度限定,使得所述一个或多个盘能够被接纳在所述盘壳体内。

11.根据权利要求1所述的装置,其中所述屏蔽设备由金属制成,所述金属包括涂层,所述涂层被配置为防止微粒污染所述屏蔽设备。

12.根据权利要求11所述的装置,其中所述金属是不锈钢,并且所述屏蔽设备涂层是金属氮化物或金属氧化物。

13.根据权利要求1所述的装置,其中所述内刚性套筒由金属制成。

14.根据权利要求1所述的装置,其中所述内刚性套筒由钼、铝、铜、氧化铝、金刚石或石墨制成。

15.根据权利要求1所述的装置,其中所述内刚性套筒包括金属氮化物、金属氧化物或氮化硅的涂层。

16.根据权利要求1所述的装置,其中还包括加热装置,所述加热装置被配置为调整所述内刚性套筒的温度。

17.根据权利要求1所述的装置,还包括内防护件,所述内防护件在以下各项中的一项或多项的开口之上延伸:所述第一凸缘和所述第二凸缘。

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