[发明专利]遮挡掩膜版、掩膜版组件及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202180000048.0 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN115667572A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 黄琰;吴建鹏;徐倩;牛彤;张国梦 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16;H10K50/11 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 解婷婷;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种遮挡掩膜版、掩膜版组件及蒸镀装置，所述遮挡掩膜版包括板体，所述板体包括第一表面，所述板体的第一表面设置为支撑所述掩膜版组件的多个精细金属掩膜版，所述板体设有多个开口，所述开口设置为暴露所述精细金属掩膜版的掩膜图案区；所述板体包括靠近周向边缘的第一区域和被所述第一区域包围的第二区域，在垂直于所述板体的方向上，所述第二区域的第一表面凸出于所述第一区域的第一表面；所述第一区域的第一表面上设有支撑部，所述支撑部避开所述开口，所述支撑部设置为能够与所述第二区域的第一表面共同支撑所述多个精细金属掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 遮挡 掩膜版 组件 装置 | ||
【主权项】：
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