[实用新型]一种硅料二次加料装置及单晶炉有效
申请号: | 202123366229.1 | 申请日: | 2021-12-29 |
公开(公告)号: | CN216445500U | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 王森望;张鹏举;陈凡;李腾飞 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 倪晓璇 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本公开提供一种硅料二次加料装置及单晶炉,所述硅料二次加料装置包括:加料筒,所述加料筒在其轴向上具有相对的加料口和卸料口;挡板组件,所述挡板组件可移动地连接至所述卸料口处;牵拉轴,所述牵拉轴在所述轴向上位于所述加料口的一侧,并能够在所述轴向上往复运动;及牵拉绳,所述牵拉绳设置于所述加料筒外,所述牵拉绳连接至所述挡板组件和所述牵拉轴上,以在所述牵拉轴牵拉下带动所述挡板组件移动,以开启或关闭所述卸料口。本公开实施例提供了一种硅料二次加料装置及单晶炉,能够避免硅溶液污染等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 二次 加料 装置 单晶炉 | ||
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