[实用新型]一种研磨机台的冷却装置及研磨机台有效
| 申请号: | 202123347985.X | 申请日: | 2021-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN216830295U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
| 发明(设计)人: | 冯惠敏 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
| 地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型提供了一种研磨机台的冷却装置及研磨机台,其中所述冷却装置用于对研磨机台进行物理降温,所述研磨机台包括研磨盘、设置在研磨盘上的研磨垫、废水排液系统、驱动马达以及传动皮带,所述冷却装置的两端与所述废水排液系统连通,且所述冷却装置贴合连接在所述驱动马达上,用于对所述驱动马达降温。本实用新型通过在研磨机台的驱动马达上增设冷却装置,因地制宜地利用研磨机台工作时产生的源源不断的废水对驱动马达进行冷却,从而提高对驱动马达的散热效果,减少驱动马达过热损坏几率,降低更换驱动马达的生产成本,增加机台工作效率,且该冷却装置结构简单,改造成本低。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 研磨 机台 冷却 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202123347985.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种钢结构型材切割装置
- 下一篇:一种脱硫吸收塔自氧化装置





