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- [发明专利]研磨垫修整盘安装装置-CN202310171814.0在审
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冯惠敏
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上海华力微电子有限公司
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2023-02-24
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2023-05-30
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B24B53/017
- 本发明提供了一种研磨垫修整盘安装装置，包括机械臂以及设置在所述机械臂末端的电磁吸附模块，所述电磁吸附模块具有通电状态和失电状态，当所述电磁吸附模块处于通电状态时，所述电磁吸附模块能够产生电磁力并吸附住金属材质的研磨垫修整盘，当所述电磁吸附模块处于失电状态时，所述电磁吸附模块的电磁力消失并释放所述研磨垫修整盘。本发明利用电磁力吸附的方式对所述研磨垫修整盘进行可拆卸的安装，在对所述研磨垫修整盘进行维修保养或者更换的过程，替代了传统拧螺丝更换的方式，不仅省时省力，效率也得到了极大的提高，减少了维护时间，增加机台工作时间的同时也减轻了工程师的工作量。
- 研磨修整安装装置
- [实用新型]一种药液桶推车-CN202221982328.4有效
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冯惠敏
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上海华力微电子有限公司
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2022-07-29
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2022-11-04
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B24B57/02
- 本实用新型提供了一种药液桶推车，所述药液桶推车包括载台、上料台、下料台、滚轮和推杆，所述载台用于放置所述药液桶，所述滚轮设置在所述载台的下方，所述上料台和所述下料台分别设置在所述载台相邻的两侧边，所述推杆设置在所述载台的一侧边且与所述上料台相对设置。本实用新型提供的药液桶推车的横向作业宽度较小，在过道空间狭小的条件下也能够完成CMP机台的上料作业，不受空间限制，且所述药液桶推车小巧灵活，结构简单，易于操作，生产成本低。
- 一种药液推车
- [实用新型]一种研磨机台的冷却装置及研磨机台-CN202123347985.X有效
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冯惠敏
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上海华力微电子有限公司
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2021-12-28
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2022-06-28
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B24B37/34
- 本实用新型提供了一种研磨机台的冷却装置及研磨机台，其中所述冷却装置用于对研磨机台进行物理降温，所述研磨机台包括研磨盘、设置在研磨盘上的研磨垫、废水排液系统、驱动马达以及传动皮带，所述冷却装置的两端与所述废水排液系统连通，且所述冷却装置贴合连接在所述驱动马达上，用于对所述驱动马达降温。本实用新型通过在研磨机台的驱动马达上增设冷却装置，因地制宜地利用研磨机台工作时产生的源源不断的废水对驱动马达进行冷却，从而提高对驱动马达的散热效果，减少驱动马达过热损坏几率，降低更换驱动马达的生产成本，增加机台工作效率，且该冷却装置结构简单，改造成本低。
- 一种研磨机台冷却装置
- [实用新型]研磨盘辅助装置-CN202020280896.4有效
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冯惠敏
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上海华力微电子有限公司
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2020-03-10
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2021-04-16
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B24B37/34
- 本实用新型公开了一种研磨盘辅助装置，用于辅助将研磨垫贴在研磨盘上，所述研磨盘辅助装置包括放置结构和套合结构，所述放置结构用于放置所述研磨垫，且所述研磨垫放置在所述放置结构上时所述第二中心与所述放置结构的中心点位于第一直线上；所述套合结构与所述研磨盘相匹配，以使所述套合结构套合在所述研磨盘上时所述套合结构包裹所述研磨盘侧壁，并且所述第一中心与所述放置结构的中心点位于所述第一直线上；所述第一直线垂直所述研磨盘粘贴面于所述第一中心；使用该装置可以有效实现精准的将研磨垫粘贴到研磨盘上。
- 研磨辅助装置
- [实用新型]一种晶圆清洗甩干机的移动门-CN201420060911.9有效
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唐强;冯惠敏
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中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
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2014-02-10
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2014-07-09
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F26B25/12
- 本实用新型提供一种晶圆清洗甩干机的移动门，所述晶圆清洗甩干机的移动门包括：位于晶圆清洗甩干机外壳顶部、可以滑动打开的外部移动门；位于晶圆清洗甩干机腔体顶部、用于控制腔体开关的内部移动门；所述内部移动门由内外两层结构构成。所述晶圆清洗甩干机的内外部移动门的材料均使用亲水材料，且表面均为颗粒喷涂面，晶圆清洗甩干机内部移动门的内层结构设计为带沟槽的弧形，同时在内部移动门内层结构的两端设置有进水口，且内部移动门内层结构的外表面设有沿其两侧边缘的凸出区，这样就可以让内层结构表面的水通过沟槽流到进水口，顺利滑落到内部容器中，避免了水停留在内层结构表面，在内部移动门做开关动作时导致水掉落在晶圆表面。
- 一种清洗甩干机移动
- [实用新型]研磨清洗槽-CN201320061816.6有效
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冯惠敏
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中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
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2013-02-01
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2013-08-14
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B08B3/10
- 本实用新型涉及一种研磨清洗槽，包括槽壁、滑轮和滚轮。其中，所述槽壁的一侧面上设置有第一圆柱体和第二圆柱体，所述第一圆柱体设置于槽壁的内侧，所述第二圆柱体设置于槽壁的外侧，所述滚轮套在第一圆柱体上，所述滑轮设置于第二圆柱体的外部，所述滑轮通过磁耦合驱动所述滚轮转动。本实用新型提供的研磨清洗槽通过磁耦合驱动研磨清洗槽内的滚轮转动清洗晶圆，槽壁无需密封圈连接，研磨清洗槽的结构能够保证不污染清洗液，更不会污染晶圆造成产品报废。
- 研磨清洗
- [实用新型]流体控制阀的膜片复位机构-CN201220400987.2有效
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周宾祖;冯惠敏;于邦仲
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苏州品诺维新医疗科技有限公司
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2012-08-14
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2013-01-23
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A61M16/20
- 本实用新型涉及流体控制阀的膜片复位机构。该膜片复位机构由膜片组件、膜片组件顶部叠装的夹紧垫片、膜片组件底部叠装的夹紧螺母、将夹紧垫片、膜片组件、夹紧螺母连接为一体的加紧螺丝、隔离于夹紧螺母底部设置的弹簧座、分别套装在夹紧螺母与弹簧座上的复位弹簧组成。该膜片组件由带通孔的盘状膜片、沿盘状膜片边沿呈环状的凸缘体、凸缘体外延的外周环状部、凸缘体与外周环状部之间凹设的环沟组成。该膜片复位机构在膜片上方形成一控制气腔，当控制气体进入后将膜片下压，当控制气体撤销后膜片在弹簧力的作用下迅速复位。通过提高阀门反应速度以改善膜片复位的动作延迟问题。用弹簧复位构件以保证膜片的正常复位，以解决膜片与阀口粘连问题。
- 流体控制膜片复位机构
- [发明专利]膜片式平衡阀-CN201210288021.9无效
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周宾祖;冯惠敏;于邦仲
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苏州品诺维新医疗科技有限公司
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2012-08-14
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2012-11-28
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A61M16/20
- 本发明涉及一种气动或液动控制系统中阀门开关控制的膜片式平衡阀。该膜片式平衡阀包括一阀体，阀体的端部设有一端盖，阀体的侧面设有第一接口、第二接口，端盖的端面设有接头，阀体沿长度方向凹设分别与第一接口、第二接口贯通的主阀孔，主阀孔内设有膜片复位机构。膜片复位机构由膜片组件、膜片组件顶部叠装的夹紧垫片、膜片组件底部叠装的夹紧螺母、将夹紧垫片、膜片组件、夹紧螺母连接为一体的加紧螺丝、隔离于夹紧螺母底部并设置在阀体管状体台肩上的弹簧座、分别套装在夹紧螺母与弹簧座上的复位弹簧、分别穿入夹紧垫片中心孔、盘状膜片通孔、夹紧螺母不通透螺孔后将夹紧垫片、盘状膜片、夹紧螺母连接为一体的加紧螺丝组成。
- 膜片平衡
- [实用新型]研磨头和研磨装置-CN201120571430.0有效
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冯惠敏
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2011-12-30
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2012-09-12
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B24B37/20
- 本实用新型公开了一种研磨头，包括用于限制晶圆位移的限位环，还包括一研磨液供给管与若干喷管，所述限位环的上部内侧设有一圆环型的导流槽，所述研磨液供给管的一端外接研磨液源，研磨液供给管的另一端与导流槽相连通，所述若干喷管分布于所述限位环的上部外周，且所述若干喷管分别与所述导流槽相连通。通过将研磨液供给管从现有的位于研磨头的外侧改成位于研磨头的内侧，一方面，可以避免研磨液结晶到研磨液供给管上，从而可以避免研磨液结晶物质掉落到研磨垫上而发生晶圆刮伤现象，另一方面，可以避免研磨液供给管和研磨头因碰擦产生颗粒物质，这两个方面都可以有效减少颗粒物质的产生，进而防止晶圆被颗粒物质刮伤，从而有效提高产品良率。
- 研磨装置
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