[实用新型]一种研磨机台的冷却装置及研磨机台

权利要求书

1.一种研磨机台的冷却装置，用于对研磨机台进行物理降温，所述研磨机台包括研磨盘、设置在研磨盘上的研磨垫、废水排液系统、驱动马达以及传动皮带，其特征在于，所述冷却装置的两端与所述废水排液系统连通，且所述冷却装置贴合连接在所述驱动马达上，用于对所述驱动马达降温。

2.如权利要求1所述的研磨机台的冷却装置，其特征在于，所述废水排液系统包括顺序连通的第一废水排泄管、第二废水排泄管和废水排液口，所述第一废水排泄管连通所述研磨机台的腔室；

所述冷却装置包括散热结构和与所述散热结构连接的废水通道管，所述废水通道管的两端分别与所述第一废水排泄管和第二废水排泄管连通，所述散热结构与所述驱动马达贴合连接。

3.如权利要求2所述的研磨机台的冷却装置，其特征在于，所述散热结构上开设有供所述废水通道管穿过的通孔，所述废水通道管与所述通孔间隙配合连接。

4.如权利要求3所述的研磨机台的冷却装置，其特征在于，所述驱动马达封装成长方体状；

所述散热结构为长方体状，且所述散热结构的长、宽、高三个尺寸均小于对应的所述驱动马达的长、宽、高三个尺寸。

5.如权利要求4所述的研磨机台的冷却装置，其特征在于，所述通孔沿与所述散热结构的长边平行的轴向开设。

6.如权利要求4所述的研磨机台的冷却装置，其特征在于，所述散热结构的侧面中面积最大的一个侧面与所述驱动马达的侧面中面积最大的一个侧面贴合连接，且所述散热结构的长边与所述驱动马达的长边平行设置。

7.如权利要求2所述的研磨机台的冷却装置，其特征在于，所述散热结构的材质为金属材质。

8.如权利要求2所述的研磨机台的冷却装置，其特征在于，所述废水通道的材质为金属材质。

9.一种研磨机台，其特征在于，所述研磨机台包括如权利要求1-8任意一项所述的冷却装置。